| 清华研究院“微纳结构光电子芯片关键制备工艺及应用”通过科技成果鉴定 |
近年来，区科技局全力服务清华大学天津电子信息研究院等重大科技创新平台建设。近日，由清华大学天津电子信息研究院主要完成的“微纳结构光电子芯片关键制备工艺及应用”通过中国电子学会举办的科技成果鉴定，专家组对成果给予了高度评价，一致认为该成果创新性强，在深刻蚀光子晶体制备技术、纳米级平整度金属薄膜制备技术、超大长宽比悬臂梁光声晶体制备技术等方面达到国际领先水平。为该成果冲击省部级科技奖励奠定良好基础。该项目已获得66项专利授权，产生直接经济效益逾5亿元；芯片工艺平台已为400多个科研团队及企业提供了定制的芯片加工和工艺开发，助力80余所研究机构及大学的创新研究，取得了一批国际引领的颠覆性成果；发表SCI论文百余篇，包括Nature Photonics等顶级期刊；助力154家企业的新产品研发，为17家企业制备了54枚面向批量工艺研发的4吋晶圆微纳结构模板。该成果覆盖微纳光电子芯片核心结构的关键制备工艺，促进了我国在新型光电子芯片领域的创新研究及产业发展，拥有完全自主知识产权和可持续发展的模式，在国际上占据了微纳光电子芯片工艺支撑体系的引领地位和先发优势，有力促进了我国在新型光电子芯片领域的创新研究及产业发展，产生了重大的经济和社会效益。下一步，区科技局将进一步推动新区重大科技创新平台建设发展，推动涌现更多的原创性科技成果，为新区高质量发展提供科技支撑。
主办单位：天津市滨海新区科技局
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